晶瑞電材：高端KrF（248）光刻膠已完成中試 進入客户測試階段

格隆匯12月16日丨晶瑞電材在互動平台表示，公司高端KrF（248）光刻膠已完成中試，建成了中試示範線，已進入客户測試階段。近期已購得KrF光刻機一台，可用於KrF光刻膠的曝光測試，同時公司KrF光刻膠量產化生產線正在積極建設中。目前ArF（193）高端光刻膠研發工作已正式啟動，已完成光刻機、勻膠顯影機、掃描電鏡、台階儀等設備購置，其中ASML1900Gi型光刻機設備正在積極調試中。同時公司正在積極開展對上游材料樹脂單體及配方的研究。