俄烏衝突、氖氣斷供，中國半導體會「窒息」？

「現在兩三天一個價格，價格波動很大。」

面對俄烏衝突，凱美特氣淡定的選擇漲價。根據公司官方說法，公司的特種氣體主要銷往國外，國外企業的報價也高於國內。漲價是最正常的反應。

作為緩衝氣體，氖氣可以看做是光刻機的「刀片」：稀有氣體經過混合後，在高壓條件下產生電子躍遷，釋放出光子，光子在通過介質轉化成激光。如同刀片在磨刀石中摩擦，變得格外鋒利。從而「刮掉」光刻膠。

不巧的是，烏克蘭掌握着全球70%的氖氣供應。俄烏衝突，很可能意味着沒有氖氣。

沒有了氖氣，就沒有了刀片。沒有了刀片，光刻機就要罷工。光刻機罷工後，全球的半導體供應都會受到干擾。

凱美特氣的反應沒有錯，現在最慌的，可能是半導體企業。

01

烏克蘭的氖氣，靠撿漏

烏克蘭在特種氣體行業的發展史，可以用八個字概括：大哥吃肉，小弟喝湯。

工業氣體根據來源不同，可以簡單的分為空分氣體，特種氣體和合成氣體。俄烏局勢引發討論的氖氣，就屬於工業氣體中的特種氣體。不論是分離空氣成分，還是化學合成氣體。這兩者都離不開工業生產的支持，尤其是能源化工產業和鋼鐵產業。

烏克蘭不可能憑空冒出這麼多原油和鋼鐵，其氣體產業因此前蘇聯的工業分工體系：按照當時的產業分佈，烏克蘭擁有着以電子、化學、造船為代表的高技術工業，消化掉蘇聯內部的重工業產能。

不論是鋼鐵還是油氣生產，都會產生以氧氣和合成氨為代表的工業氣體。粗加工的氣體產品，也會經過烏克蘭當地的「深加工」，生產出合成氣體和稀有氣體。前蘇聯生產的IN-16輝光管，內部就需要填充大量的氖氣，這些輝光管的生產地，恰恰是烏克蘭的Gazotron工廠。

除了氖氣之外，烏克蘭還提供了全球30%的氙氣和40%的氪氣。此前社交媒體流行的「立陶宛激光設備」，也需要這些稀有氣體才能正常運行。烏克蘭在氣體行業中的關鍵身份，也就可見一斑。

烏克蘭統領全球的特種氣體產業，不過是蘇聯工業大餐的一道配菜而已。

蘇聯解體之後，雖然東歐局勢風雲變幻。但是俄烏兩國的產業分工體系，卻並沒有被徹底推翻。因此烏克蘭特種氣體的生產材料來源，依舊是俄羅斯的粗分氣體產品。就算不考慮現在的「特別軍事行動」，全球半導體產業的氣體供應，也一直懸着俄烏衝突這把刀。

2015年克里米亞事件期間，中國氖氣市場價一下從年初750元/立方米，漲到7月中的25000元/立方米。百川盈孚數據顯示，國內氖氣（含量99.99%）價格已從去年10月份的400元/立方米上漲到目前超過1600元/立方米。

面對可能到來的供應鏈衝擊，半導體巨頭紛紛選擇避險。美光CEO桑傑·梅赫羅特拉就在2月23日的採訪中，頗為自信地表示：「美光有一小部分稀有氣體來自烏克蘭，但我們擁有多種供應來源，並擁有大量的庫存。」

全球光刻機巨頭阿斯麥（ASML）也同時宣佈，公司已經開始尋求替代烏克蘭的供應商。更是在氖氣供應方面，嘗試與烏克蘭撇清關係：「ASML使用的氖氣中只有不到20%來自於烏克蘭。」

半年之內，半導體不缺烏克蘭這口氣。

02

國內行業發展：40年的鋪墊，2年的爆發

比起烏克蘭氣體工業的悠久傳統，我國的特種氣體發展史要短暫得多。

1983年，國務院成立電子計算機和大規模集成電路領導小組，並在5月召開全國計算機和大規模集成電路會議，制定LSI發展規劃。隨着北京氧氣廠、光明化工研究設計院等院所機構的超純氣體研製項目逐步成型，我國電子氣體成為了電子行業的重點攻關項目。

與此同時，我國也在迅速開展氣體標準化的相關研究。1987年，中方研究人員翻譯了全套「國際半導體設備與材料協會（SEMI）」標準，並在1992年以「SEMI中國標準化委員會」名義加入SEMI組織。有了這套標準，中國的半導體工業生產才能對接國際體系。

有了研發和體系的鋪墊，國內出現了廣東華特、中昊光明、中船集團718研究所、大連科利德和金宏氣體為代表的電子特種氣體企業。在低端氨氣，笑氣等領域也實現了穩定投產。以氖氣為代表的稀有氣體產品，也隨着我國鋼鐵產業的深化整合實現了自主化。

卓創資訊工業氣體分析師張衛就指出，「稀有氣體方面，國內頭部廠商包括武鋼、首鋼、寶鋼、邯鋼、衢州杭氧、攀鋼梅塞爾等。」

「氣體圈子」總經理任路也表示，「氖氣在半導體領域的用量並不是太大，而中國就擁有包括氖氣在內的多種稀有氣體充足的生產能力。」

然而由於我國半導體行業規模有限，大量求穩求快的廠家，更願意選擇產品質量穩定的國外產商。以美國空氣化工，德國林德，大陽日酸和液化空氣為代表的國外廠商，最終拿下了國內電子特氣領域超過85%的市場。

在2020年，這一局面再次被國家規劃打破，由於《新時期促進集成電路產業和軟件產業高質量發展的若干政策》出台，電子特氣成為國家產業投資的重點目標。高純硅烷、高純氨、砷烷實現了產業化生產，國產特種氣體有了產業化的模樣。

僅派瑞特氣一家，就在去年9月獲得了國家集成電路產業投資基金，國企混改基金，國家軍民融合產業投資基金等機構超過5.2億元的戰略融資。華特氣體和凱美特氣也在藉助「通過ASML認證」等方式，逐步進入半導體行業供應鏈中。

2021年，中國稀有氣體出口市場中，氖氣出口量為6.5萬立方米，其中有60%出口到了韓國。氪氣出口量為2.5萬立方米，37%出口至日本；氙氣出口量為900立方米，30%出口至韓國。

已經出海的國產電子特氣，也無需考慮東歐引發的斷「氖」之憂。

03

電子特氣未來發展：戰場在市場

我國電子特氣的戰鬥，不在供應，在市場。

由於我國的電子氣體行業長期依賴國外巨頭，國內的電子氣體行業爭取客户，面臨着以標準和技術的無形壁壘。在半導體行業，這一現象體現為漫長的審核流程。

一家OLED面板廠商生產負責人表示，如果氣體想要進廠需要先審廠，再看產品認證，並且要按照面板廠商合同需求調動產能。這個流程走下來，一般需要三年左右。除非公司出現重大變動，一般不更換供應商。

（圖為OLED的生產車間）

這位負責人還表示，面板產品往往是多規格生產，他們希望氣體供應商能夠靈活製備產品。整體而言，他們對其他的需求，是常年不斷的細碎訂單，需要氣體提供方能夠隨叫隨到。

任路在調研期間也發現了這一點，　「我們曾在去年採訪華東某外資半導體大廠（8寸線），該公司使用的63種電子特氣中，僅有4種由中國國內企業分裝或者生產。」

針對這種問題，國內企業的思路是依託產品，逐步攻克。2019年登陸科創板的華特氣體，就成為了國內首家打破高純六氟乙烷、高純三氟甲烷、高純二氧化碳、高純一氧化碳、高純一氧化氮、光刻氣（Ar/F/Ne 混合氣、Kr/Ne 混合氣、Ar/Ne 混合氣、Kr/F/Ne 混合氣）等產品進口制約的氣體公司，並率先實現了近20個產品的進口替代。

在規模化的產品覆蓋下，華特氣體已經覆蓋了國內80%的8寸以上集成電路製造廠商，拿下了60%的國內光刻氣份額。雖然華特尚未打入阿斯麥的供應鏈，但是公司已經進入英特爾、美光、德州儀器等半導體巨頭的供應鏈體系。為華潤微電子、京東方等客户直接供氣，也為國內半導體產業解決了部分氣體來源問題。

凱美特氣作為另一家爭取「阿斯麥認證」的國內企業，則在2020年7月投產了岳陽電子特種稀有氣體項目，根據凱美特氣說法，公司目前已產出合格氯化氫基準分子激光混配氣、氟基準分子激光混配氣和動態激光混配氣。

2021年，公司簽訂電子特氣合同金額達 1938 萬元。目前公司已經通過激光器巨頭相干公司認證，正在爭取阿斯麥、大陽日酸、亙福的認證，從而進軍半導體行業。

獲得過億融資的宏芯氣體，創始人白久曾任職於林德氣體的電子業務，參加過中芯國際、聯芯、長江存儲等國內一流FAB廠和三星、京東方等頭部面板廠商的大宗氣站項目。公司核心團隊來自林德、空氣化工、液化空氣等國際氣體巨頭的電子氣體部門，並已經取得上海新微和浙江創芯兩個氣站項目。

俄烏衝突引發的「斷氣風波」，為還在急行軍的中國電子特氣點亮了照明彈，但是中國企業的「國產替代」會戰，卻遠遠沒有結束。