阿斯麥(ASML.US)新EUV報價逾3.4億美元創新高 台積電、英特爾、三星爭相下單

格隆匯1月20日丨阿斯麥(ASML.US)下一代EUV設備再飆上新天價，該設備因為精密度更高與設計零件更多價格水漲船高，其中最新款由英特爾率先在2022年初下訂的機種EXE:5200系統報價逾3.4億美元，較前一代價格增逾13%，再創歷史新高。EXE:5200為 0.55數值孔徑High-NA EUV微影技術首度商轉，英特爾目標該設備2025年量產。台積電大舉拉高資本支出多數用於先進製程。業界認為，先進製程3奈米發展至2奈米最關鍵在下一代EUV設備的熟練生產，同時英特爾、三星也積極投入相關設備預定採購。阿斯麥統計，在去年第4季High-NA EUV(TWINSCAN EXE:5000)系統已有5台在手訂單，業界推估每台報價已約3億美元，來自三個主要客户。